扩散泵电磁加热器（技术支持：肇庆市翔兴电子设备制造有限公司）

1.产品概述：本产品是专为扩散泵加热而量身设计的电磁加热器，它的具有快速、高效、节能、耐用、抗干扰等特点。扩散泵电磁加热器是真空镀膜设备扩散泵的专用加热系统，加热速度快、节能环保、比电热丝加热可以省电40%左右。安装非常简单，根据功率和扩散泵的尺寸制作扩散泵电磁感应线圈，线圈做好后直接固定在扩散泵底部，电磁感应加热用在真空扩散泵中具有使用安全、加热速度比电热丝加热快2/5的时间，节约了预热成本提高了生产效率，电磁感应加热原理是通过电磁感应线圈直接对真空扩散泵底部感应加热，扩散泵底部自身发热。电热丝加热方式是加热盘自身的温度加热到很高温度然后传递到扩散泵底部，这样就会有大量的热量散失到空气中，增加了车间的温度还造成了能量损失。电磁感应加热是使扩散泵底部自身发热没有热量损失， 线圈装好后一般可以用到3-5年，后期没有什么维护成本。电热丝加热很容易损坏，使用时间久了功率还会衰减，所以电磁感应技术应用在真空扩散泵中是很理想的一种加热方式。

2．技术参数

3．线盘

（1）线盘直径： 800mm；1000mm；

（2）线盘电感量：空载时电感量170uH-180uH；带载时电感量70uH-80uH，修正电感量可调整线盘与扩散泵底盘之间的距离。