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(直流)偏压电源-C
1.简介:
偏压(Bias)是指在镀膜过程中施加在基体上的负电压,偏压电源输出端有两个电极,一个正极(+),一个负极(-),使用时要求正极(+)端子连接镀膜设备真空室外壳,负极(-)端子连接到工件,同时要求真空室外壳必须接入大地(大地的电位定义为零电位),由于偏压电源工作时输出端正极(+)电位高于负极(-)电位,而正极(+)端子又被接入大地,电位为零,于是负极(-)端子输出是一个负电压,正是这个加在工件上的负电压习惯说为负偏压,简称偏压;根据输出波形分类,偏压电源主要包括直流偏压和脉冲偏压两种,使用者可根据不同的膜层工艺要求配置不同技术标准的偏压电源。
2.产品特点:
(1)输出负极性直流电压(输出端正极连接真空室外壳,输出端负极连接到工件)。
(2)人机交互操作界面;DSP数字芯片控制;RS485通信;远/近控切换;非晶逆变。
(3)自定义恒流、恒压、恒功率控制。
(4)内置电子电抗;自动匹配负载。
(5)内置大功率高频开关稳压电源。
(6)完善的保护功能;设有过流、过压、过热、限流、短路等多重保护。
(7)提高真空等离子体内带电粒子能量,轰击清洁被镀工件表面,提高沉积膜层的结合力。
(8)单片机C语言及汇编语言编程,键盘矩阵并行数据传输,瞬态响应快,误码率低,部分性能优于组态触摸屏/PLC。
(9)前级偏压(Bias)调节+后级占空比(PWM)调节联动调节输出,无高压(H)挡位、低压(L)挡位切换。
(10)工作频率范围:20KHz-100KHz,可根据客户要求设定。
3.技术参数【注:PY-60KW为(主机+从机)2单元组合】
型号(C型) | 输入电压 | 输出功率 | 输出电压(-) | 输出电流 | 冷却方式 | 外形尺寸 |
PY-10KW | 380V+N ±10% 50-60 Hz | 0-10KW | 0~-800V/1000V | 0-12.5A | 水冷+风冷 | 480*280*580mm |
PY-20KW | 380V+N ±10% 50-60 Hz | 0-20KW | 0~-800V/1000V | 0-25A | 水冷+风冷 | 480*280*580mm |
PY-30KW | 380V+N ±10% 50-60 Hz | 0-30KW | 0~-800V/1000V | 0-37.5A | 水冷+风冷 | 480*280*580mm |
PY-40KW | 380V+N ±10% 50-60 Hz | 0-40KW | 0~-800V/1000V | 0-50A | 水冷+风冷 | 480*280*580mm |
PY-60KW | 380V+N ±10% 50-60 Hz | 0-60KW | 0~-800V/1000V | 0-75A | 水冷+风冷 | 480*280*580mm |