欢迎来到肇庆市翔兴电子设备制造有限公司官网!

肇庆市翔兴电子设备制造有限公司

以客户,信誉至上为原则

竭诚为广大客户提供的产品及服务!

咨询热线
13902995328
肇庆市翔兴电子设备制造有限公司

产品展示

联系人:梁经理

电话:13902995328

手机:18929877836

邮箱:

地址:肇庆市端州区黄岗双东南三巷87号

(脉冲)偏压电源-C

发布者:admin2023-04-22

(脉冲)偏压电源-C

1.简介:

偏压(Bias)是指在镀膜过程中施加在基体上的负电压,偏压电源输出端有两个电极,一个正极(+),一个负极(-),使用时要求正极(+)端子连接镀膜设备真空室外壳,负极(-)端子连接到工件,同时要求真空室外壳必须接入大地(大地的电位定义为零电位),由于偏压电源工作时输出端正极(+)电位高于负极(-)电位,而正极(+)端子又被接入大地,电位为零,于是负极(-)端子输出是一个负电压,正是这个加在工件上的负电压习惯说为负偏压,简称偏压;根据输出波形分类,偏压电源主要包括直流偏压和脉冲偏压两种,使用者可根据不同的膜层工艺要求配置不同技术标准的偏压电源。

2.产品特点:

(1)输出负极性直流脉冲电压(输出端正极连接真空室外壳,输出端负极连接到工件)。

(2)人机交互操作界面;DSP数字芯片控制;RS485通信;远/近控切换;非晶逆变。

(3)自定义恒流、恒压、恒功率控制。

(4)内置电子电抗;自动匹配负载。

(5)内置大功率高频开关稳压电源。 

(6)完善的保护功能;设有过流、过压、过热、限流、短路等多重保护。

(7)提高真空等离子体内带电粒子能量,轰击清洁被镀工件表面,提高沉积膜层的结合力。

(8)单片机C语言及汇编语言编程,键盘矩阵并行数据传输,瞬态响应快,误码率低,部分性能优于组态触摸屏/PLC。

(9)前级偏压(Bias)调节+后级占空比(PWM)调节联动调节输出,无高压(H)挡位、低压(L)挡位切换。

(10)工作频率范围:20KHz-100KHz,可根据客户要求设定。

3.技术参数【注:PY-60KW为(主机+从机)2单元组合】

型号(C型)输入电压输出功率
输出电压(-)输出电流冷却方式外形尺寸
PY-10KW

380V+N ±10%

50-60 Hz
0-10KW0~-800V/1000V0-12.5A

水冷+风冷

480*280*580mm

PY-20KW

380V+N ±10%

50-60 Hz
0-20KW0~-800V/1000V0-25A

水冷+风冷

480*280*580mm

PY-30KW

380V+N ±10%

50-60 Hz
0-30KW0~-800V/1000V0-37.5A

水冷+风冷

480*280*580mm

PY-40KW

380V+N ±10%

50-60 Hz
0-40KW0~-800V/1000V0-50A

水冷+风冷

480*280*580mm

PY-60KW

380V+N ±10%

50-60 Hz
0-60KW0~-800V/1000V0-75A

水冷+风冷

480*280*580mm